气浮位移台 A-523.25005B3

Z轴倾斜式机动

θX、θY 旋转范围为 ±1° 平台直径 250 毫米 总高度 60 毫米 产品概览 A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜平台。该平台设计为平行运动多轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统。 附件和选件 空气过滤器套件 应用领域 Z 型尖端/倾斜平台非常适合高精度应用，例如晶片检测、光纤定位、光学器件定位、平面屏幕检测、无掩模光刻和超 LED 制造。非接触式设计非常适合洁净室应用。