旋转位移台 A-63x PIglide RL series

机动多轴精准

运动平台直径 低轮廓 偏心率和平面度 < 100 nm 可通过磁性预紧力在静止时自锁 产品概览 PIglide RL 系列的直接驱动低剖面旋转平台采用低剖面设计，具有最高精度。各种选件可组合成点对点分度或匀速扫描的理想解决方案。RL 平台具有卓越的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 无槽 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在启动过程中无需参考，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 真空馈入件 静止时通过磁性预紧力自锁 根据要求提供透明孔 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器 多轴/定制设置 花岗岩底板和减震系统 应用领域 光学对准、晶片检测、晶片对准、测量技术、检测系统、校准、扫描。 由于无摩擦运动，不会产生微粒，因此 PIglide 平台是洁净室应用的理想选择。