- 适用于高达10-7 hPa的真空度
- 无限的行程范围
- 重复性达到87µrad
- 20毫米直径的孔径
- 参考开关
蜗牛驱动。光圈直径为20毫米,参考开关。
高真空应用的更高质量
在这种情况下,使用了适合高真空的特殊部件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层的铝制成,驱动螺杆和导轨由不锈钢制成。有了这些,就可以达到PI V7真空等级,也就是达到10-7 hPa。
应用范围
真空室。研究。光束线仪器。显微镜。电子装配和检查。
特别是在真空环境中使用时,降低了除气性
最值得注意的是,对于导轨和驱动螺杆的润滑,使用了一种特别低除气性的材料。因此,烘烤温度可以达到80℃。
驱动装置
带齿轮头的步进电机。
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