真空兼容度高达 10-7 hPa
无限行程范围
重复性达 87 µrad
20 毫米直径孔径
基准开关
标准级旋转平台
蜗杆驱动。孔径 20 毫米。
减少排气,尤其适合在真空环境中使用
最值得注意的是,在导轨和主轴的润滑方面,使用了放气量特别低的材料。因此,烘烤温度最高可达 80°C。
用于高真空环境的更高质量
在这种情况下,需要使用适用于高真空的特殊部件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由未涂层的铝制成,主轴和导轨由不锈钢制成。这样就达到了 PI V7 真空等级,即高达 10-7 hPa。
驱动装置
带减速机的步进电机。
应用领域
真空室。研究光束线仪器显微镜电子装配与检测
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