气浮位移台
线性线性电机驱动单轴

气浮位移台
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
线性电机驱动
轴数量
单轴
其他特性
工业, 气浮
速度

9 m/s
(29.53 ft/s)

重复精度

5 µm

产品介绍

带空气轴承的 MPL 线性电机平台 带空气轴承的直线电机平台的信息 该线性轴的能力: 测量系统重复精度: ± 1 μm 最大加速度: 80 m/s2

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