气浮定位系统 XY 轴线性工业
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产品规格型号
- 轴数量
- XY 轴
- 构造
- 线性
- 应用
- 工业
- 其他特性
- 线性电机驱动, 气浮
- 重复精度
3 µm
- 传送速度
1 m/s
(3.28 ft/s)
产品介绍
带空气轴承的多轴系统
带空气轴承的 X-Y 线性电动机平台系统这一特殊项目的产品信息
空气轴承 2 线性电动机平台系统：
轴承：X 轴和 Z 轴上的空气轴承
基本结构：地面钢结构
峰值力：X 轴： 16800N，Z 轴： 9840N
测量系统
-重复性： ± 0.5 μm
-分辨率： 100nm mit 安全性
最大加速度： 130 m/s2130 m/s2
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