{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm
... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...
Physik Instrumente
运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm
... - 与电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...
Physik Instrumente
运行行程: 100, 200 µm
... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...
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... - 分辨率高达 20 nrad，位置稳定性极佳 - 光束偏转达 4 mrad - 各种不同的材料，用于调整平台和反射镜之间的 CTE - 平行运动学，可实现更高的精度和动态性能 - 亚毫秒级响应时间 - 闭环版本可提高线性度 - 出色的温度稳定性 应用领域 - 图像处理/稳定 - 光学捕捉 - 大偏转角激光扫描/光束转向 - 激光调谐 - 光学滤波器/开关 - 光学器件 - 光束稳定 采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...
Physik Instrumente
运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm
... - 节省空间，重量轻 - 导向精度高 - 传感器分辨率高达 10 纳米 - 自锁定，静止时不发热 - 低噪音运行 精密级线性定位平台 PILine® 平台特别适用于需要快速精确定位的应用场合。关闭时，自锁驱动装置使平台位置保持机械稳定。因此大大降低了能耗和发热量。电池供电的低占空比应用或对热敏感的应用都能从这些特性中受益。轴的位置由编码器和光学基准开关测量，可实现可靠的重复运动。压电电机的驱动原理及其电气操作成本低廉，并且可以定制。 PILine® 超声波压电电机 PILine® 超声波压电电机的一个组成部分是一个压电致动器，该致动器通过一个耦合元件预载到一个可移动的导轨流道上。压电陶瓷致动器在 ...
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运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm
... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...
Physik Instrumente
运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...
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运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm
... 宽度：114 毫米，行程范围达 610 毫米 精密滚珠丝杠，最大承重 50 公斤 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能，减小了跟踪误差，加快了稳定时间。 同步伺服电机 这些电机在较大的转速范围内具有高定位精度和高过载能力。高扭矩和低惯性确保了驱动器的高动态性能。这些电机的使用寿命长、性能高、坚固耐用，在工业自动化应用中效果极佳。 步进电机 功率大、振动小的两相步进电机即使在没有位置控制的情况下也能实现精确定位。 选项 步进电机或同步伺服电机 保持制动器 旋转编码器，增量式或绝对测量式 折叠式传动系统，可减少总长度 可选附件L-812.TT1 ...
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运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm
... 适用真空度高达 10-6 hPa 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用领域 真空室。研究光束线仪器显微镜电子组装和检测 ...
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运行行程: 32 mm
... - 宽度仅 32 毫米，高度仅 8 毫米 - 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 ...
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运行行程: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
重复精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METIS 是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专为步进和扫描应用而设计，可确保无与伦比的精度、移动和稳定时间以及 4 自由度的速度稳定性。 METIS 平台是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专用于 X、Y、Z 和 Theta 方向四轴移动的步进和扫描应用。全行程范围内的动态平面度和双向重复性使其成为高精度任务的理想选择。METIS 广泛应用于晶圆过程控制，如关键尺寸和薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光热退火。它还适用于后端光刻机（光罩校准器）和某些晶片切割应用。 METIS 性能可靠，是先进半导体和光电子应用的必备工具。 特点 METIS ...
运行行程: max 100.0 µm
... 特点： 三轴转换系统和双轴倾斜系统的组合 直径 17 mm 的自由中心孔 集成预载荷 转换每个轴：高达 100 µm 每个方向倾斜：± 2 mrad 固态弯曲铰链，采用平行边形设计，无需机械 玩 选项：集成测量系统 光学级通常需要一个开放的中央空间（例如用于通过光）。 对于这些应用，PENTOR 翻译和倾斜系统采用一个 17 mm 自由中心孔。 它提供 100 µm 的 x、y 和 z 方向的运动，并在两个正交轴 (j, q) 上倾斜 ± 2 mrad。 用于三个平移轴的柔性铰链保证在这个舞台的行驶范围内实现最高程度的并行性。 ...
piezosystem jena GmbH
... 压电系统的 PKS 1 是该公司的 PKS 系列镜面倾斜系统的一部分。 该系统具有正交倾斜轴、广泛的谐振频率水平和紧凑的设计。 它能够适应真空条件，微调范围为 1 mrad，手动偏移角度速率为 ± 2°。 还可提供 1/2 "和 1" 镜的定制型号配置。 PKS 1 通常用于涉及激光技术工艺、光束校准操作、扫描设备等应用。 ...
piezosystem jena GmbH
... 压电系统的 PZ 300 AP Z 轴压电显微镜定位台通常用于涉及激光扫描、荧光处理、超分辨率和图像处理的应用。 这些系统专为适应 XY 显微镜阶段而制造。 它们采用平面设计，可用于倒置支架。 他们还展示了无机械游戏元素的单片舞台架构。 这些结构设计允许系统在高达 300 微米的范围内行驶，并提供 ± 2.5 纳米的分辨率。 这些系统设计还提供了几毫秒（20 毫秒）内的动态参数和建立时间。 PZ 300 AP Z 轴压电显微镜定位台的其他功能包括 50 Hz 的工作频率和标准 K 帧开口。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 150, 72 mm
速度: 150, 160 mm/s
... 概念。 由piezosystem jena提供的SCANIUStwo是为长行程的样品定位而设计的，同时保持了我们的高精度标准。通过这个新的双轴平台，piezosystem jena为您提供了一个更好、更优雅的解决方案来处理您的样品或物体。高分辨率和简易集成的结合使这个系统成为各种应用的理想选择。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 用于倒置研究显微镜的直线电机技术的 HLD117 系列平板顶级为便利性和性能树立了新的标准。 设计用于与微操纵器和孵化室等其他物品无缝集成，舞台的顶部表面完全没有阻塞。 这提供了一个高度符合人体工程学的平台，非常容易地进入样品区域。 HLD117 采用恒定接触轴承，可提供最低摩擦和最平滑的驱动。 HLD117 提供： 超安静操作， 你能听到吗？ 我们也不能！ 即使在高速（高达 300 mm/sec）下，直线直流伺服电机几乎无声。 高精度 HLD117 具有令人印象深刻的 0.15 微米重复性和 ...
Prior Scientific
运行行程: 108 mm
速度: 0.02 m/s
HT1111LC ProScan™实体框架载物台适用于正置显微镜和硬度测试仪。HT1111LC的行程范围为108 mm x108 mm，重复精度为0.7μm，载重能力可达100公斤，与Prior Scientific ProScan控制器联用时的分辨率为20纳米
Prior Scientific
运行行程: 65 mm
速度: 0.01 m/s
Prior的高精度电动ZDeck快速调节平台系统包括Prior Zdeck、电动ProScan XY载物台、ProScan III控制器、带双数字控制器的PS3J100操纵杆、通用支架、实心铝板、两个显微操作器安装座、聚光器垫片和四个10mm柱形垫片。Prior Scientific正在申请专利的ZDeck快速调整平台使用户可以快速而准确地对多个感兴趣区域进行成像，从而大大提高效率。
Prior Scientific
运行行程: 154 mm
速度: 0.02 m/s
H105-F是精密设计的ProScan®载物台之一，适用于大多数正置显微镜。它具有较大的行程范围，可以容纳半导体晶圆、光掩膜和印刷电路板等大型样品，使其成为材料科学应用的理想选择。可替换的样品架使得该滑块可用于各种应用。H105N2F具有高分辨率和出色的重复性，是高端材料科学应用的理想选择。
Prior Scientific
运行行程: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
H117载物台系列采用完全平坦的顶部设计以方便使用，并搭载了智能扫描技术（IST）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。
Prior Scientific
运行行程: 80 mm - 120 mm
速度: 40 mm/s - 100 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 0.7 µm
... Prior Scientific推出了新款最具创新性的H101F电动平顶载物台，适用于正置显微镜。新型ProScan H101F的显著优势之一在于其完全平坦的顶板设计，可为物镜和换镜旋座的旋转提供无障碍空间。超低剖面样品架便于使用高数值孔径（NA）物镜/聚光器，而最新的小型高扭矩马达则便于进行聚光器和其他显微镜调整。较大的样品架区域设计能够适应各种应用，如大型组织切片以及其他定制的样品架。可选的嵌入式高分辨率XY编码器可提供最高的精度。 H101F采用更小尺寸的载物台电缆，从而简化了电缆的布线。通过添加简单的安装板，新型H101F即可与较旧型号的样品架兼容。H101F ...
Prior Scientific
运行行程: 71 mm - 240 mm
重复精度: 1 µm
载荷: 0 kg - 10 kg
... H138A载物台大大提高您的工作效率，最多可同时装载8个75mm x 25 mm显微镜载玻片。用于正置显微镜的H138A载物台搭载了智能扫描技术（IST）（H101，H107和H117型号也采用此技术）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。同时，IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1um甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 240mm的 ...
Prior Scientific
运行行程: 302 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 0.7 µm
... H112载物台非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。H112可轻松容纳12英寸（300毫米）晶圆，并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外，H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 可选的100nm线性标尺可提供最高的分辨率。 • 多种晶圆支架 • 302毫米x 302毫米（12″x12″）行程 ...
Prior Scientific
运行行程: 77 mm - 115 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 5 µm
... 用于倒置显微镜的ES107 OptiScan载物台具有最佳的性价比。ES107的设计旨在利用Prior的H107 ProScan系列样品架，以检测最广泛的样本类型，包括载玻片、多孔板、培养皿和抛光冶金样本。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 5μm甚至更佳的重复性 • 经济且强大 • 多种样品架。 ...
Prior Scientific
运行行程: 215 mm - 256 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 2 µm
... H116载物台适用于大多数大型显微镜，并且可以轻松容纳8英寸（200毫米）的晶圆和各种大型标本，非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 多种晶圆支架。 • 255mm x 215mm（10“x8.5”）行程 ...
Prior Scientific
