热解氮化硼是一种六方氮化硼。它是通过化学气相沉积工艺制造固态体的,所有氮化硼晶体都平行于气相沉积的表面生长。
由于化学气相沉积工艺的性质,一般要求 PBN 零件的壁厚不超过 3 毫米。PBN 也是纯度极高的氮化硼的良好选择。 99.典型的纯度为 99%。CVD 工艺使这种热解氮化硼具有几乎完美的层状结构,从而产生各向异性的热导率,使其成为制造晶体生长坩埚的理想材料。
热解氮化硼陶瓷的应用:
晶体生长(VGF、LEC 坩埚)
分子束外延(MBE)坩埚
MOCVD 加热器
氮化硼红外窗口
行波管(TWT)(PBN 支撑杆)
PBN 涂层 石墨
高温真空设备绝缘体
热解氮化硼陶瓷的特性:
PBN 的颜色为象牙色和橙棕色,无毒、无气味、易加工。
纯度高达 99.99%,表面致密化,气体阻隔性好。
强度随温度升高而增加,在 2200°C 时达到峰值。
耐酸、碱、盐和有机试剂。同时,它不与大多数熔融金属和半导体材料发生反应。
优异的抗热震性、优良的导热性、低热膨胀系数。
高电阻、高介电强度、低介电常数、低耗散因子、优异的微波和红外线能力。
在力学、热学和电学方面具有各向异性。
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