热解氮化硼坩埚

INNOVACERA 生产各种 PBN 陶瓷组件，包括圆盘、薄片、灯丝环、VGF 坩埚、LEC 坩埚、MBE 坩埚、锥形坩埚和定制加工零件。 热解氮化硼 (PBN) 是一种使用化学气相沉积 (CVD) 工艺从六方氮化硼 (hBN) 中提取的高纯度材料。该方法将氮化硼晶体与基材平行排列，从而实现卓越的纯度 (99.99%) 和耐用性。PBN 的 CVD 结构将壁厚限制在 3 毫米，但具有高机械强度，使其成为高真空环境和熔融金属应用的理想选择。 其独特的热性能，例如各向异性的热导率和耐高温性，使 PBN 成为真空炉组件和晶体生长坩埚的首选材料。在半导体分子束外延 (MBE)（砷化镓 (GaAs) 晶体生产的标准工艺）中，PBN 坩埚因其卓越的性能而脱颖而出。 PBN 的主要特性包括： – 出色的导热性 – 高绝缘电阻 – 在很宽的温度范围内具有出色的介电强度 – 超高纯度 – 非润湿性 – 无毒且具有化学惰性 – 耐高温和热冲击