氮化硼坩埚 热解氮化硼
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产品规格型号
- 技术参数
- 热解氮化硼, 氮化硼
产品介绍
热解氮化硼是一种六方氮化硼。它是通过化学气相沉积工艺生产的，以形成其固体，并且所有氮化硼晶体都平行于蒸汽沉积的表面生长。
由于CVD工艺的性质，PBN部件通常要求壁厚不超过3毫米。PBN也是氮化硼极高纯度的良好选择。99.99%是典型等级。CVD工艺赋予这种热解氮化硼几乎完美的层状结构，导致各向异性的热导率，使其成为制造晶体生长坩埚的理想材料。
热解氮化硼陶瓷的应用:
- 晶体生长（VGF，LEC坩埚）
- 分子束外延（MBE）坩埚
- MOCVD加热器
- PBN红外窗口
- 行波管（TWT）（PBN支撑杆）
- PBN涂层石墨
- 高温真空设备绝缘体
热解氮化硼陶瓷的特性:
- PBN的颜色为象牙色和橙棕色，无毒，无孔，易于加工。
- 纯度高达99.99%，表面致密化，良好的气体屏障性能。
- 随着温度的升高，强度增加，并在2200°C达到峰值。
- 耐酸、碱、盐和有机试剂。同时，它不与大多数熔融金属和半导体材料反应。
- 优异的抗热震性，优异的热导率，低热膨胀系数。
- 高电阻，高介电强度，低介电常数，低损耗因子，优异的微波和红外线能力。
- 在力学、热和电方面具有各向异性。
热解氮化硼陶瓷的特性:
特性 | 单位 | 值
---|---|---
晶格常数 | μm | a: 2.504 x 10^-10 c: 6.692 x 10^-10
密度 | g/cm3 | 2.10-2.15（PBN坩埚）；2.15-2.19（PBN板）
显微硬度（努普）（ab侧） | N/mm2 | 691.88
电阻率 | Ω*cm | 3.11 x 10^11
抗拉强度 | N/mm2 | 153.86
弯曲强度 | N/mm2 | 243.63（⊥C），197.76（⊥C）
弹性模量 | N/mm2 | 235690
热导率 | W/m*k | “a”方向 60（200°C），“c”方向 2.60（200°C）
介电强度（室温下） | KV/mm | 56
主要规格:
- 材料: 热解氮化硼（PBN）
- 纯度: 高达99.99%
- 生产方法: 化学气相沉积（CVD）
- 应用: 晶体生长，MBE坩埚，MOCVD加热器，IR窗口，TWT支撑杆，石墨涂层，高温绝缘体
- 热导率: 各向异性，最高60 W/m*K（200°C下的a方向）
- 介电强度: 室温下56 KV/mm
- 密度: 根据形式2.10-2.19 g/cm³
- 颜色: 象牙色至橙棕色
- 优异的化学耐受性和抗热震性
