扁平加热组件 热解氮化硼
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产品规格型号
- 类型
- 扁平
产品介绍
要素
高纯度和高性能热解氮化硼被用作 PBN 加热元件的基板。通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 作为导体和加热器置于 PBN 板的表面。
由于 PG 和 PBN 在真空或惰性气氛中都非常纯净和稳定，因此 PBN-PG 加热元件非常耐用，并能保持腔室清洁。它可以在很短的时间内加热到 1600°C，且不会释放任何气体成分。这些加热元件是半导体工业和需要高温、高真空和高纯度应用的理想产品。
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