热解氮化硼(PBN)是一种先进的陶瓷,热解氮化硼 PBN 盘和其他热解氮化硼产品是通过化学气相沉积(CVD)工艺,在高温、低压下用 BCl3 和 NH3 在模具上合成的。由于气体材料的纯度更容易控制,因此 PBN 产品的纯度极高。通常情况下,PBN 产品的总杂质小于 100 ppm,即纯度不低于 99.99%。它是窗户的理想材料。
真空微波设备的主要制造商使用氧化铝和铍陶瓷作为输入输出窗口屏障的主要材料。目前,氮化铝被认为是这些传统材料的可能替代品。与此同时,众所周知的热解氮化硼(PBN)似乎是一种仍被大部分 ED 开发人员低估的材料。热解氮化硼板作为高功率微波电子器件的窗口材料。
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