发光性检测系统 Imperia®

光学3D自动化

凭借其独特的光学设计技术，Imperia系统可以检测和分类杀死产量的缺陷，并同时获得最先进的光致发光（PL）生产监测的额外好处。 产品概述 Imperia系统采用了独特的光学设计技术，能够检测和分类杀死产量的缺陷，同时还具有最先进的光致发光（PL）生产监测的额外优势。将这两种外延后计量筛选功能结合到一个高产能系统中，最大限度地减少了宝贵的工厂空间使用和盒式处理时间。该产品可以为用户节省大量的经济成本（例如：准确预测MOCVD反应器产量和PM计划）。 - 高密度光谱PL图 - 缺陷分析和分类 - 高分辨率的外延层厚度和归一化反射率成像 - 晶片形状剖析和三维弓形重建