激光检测系统 Voyager™

扫描式表面缺陷晶圆

Voyager® 1035激光扫描检测系统能够在先进逻辑和内存芯片制造的量产提升期间实现缺陷监 控。Voyager 1035 检测仪采用 DefectWise®深度学习算法，将关键的 DOI（关键缺陷）从图案噪 声中分离出来并提高其整体缺陷捕获率，其中包括独特且不易发现的缺陷。该系统采用了行业中 独一无二的斜入射光源技术和量子效率提升 30%的新传感器，在显影后检测（ADI）和 EUV 光刻工 艺中的光刻单元监测（PCM）等应用中可以对脆弱的光阻层进行无损检测，从而提高产量和灵敏 度。Voyager 1035 具备高产量和高灵敏度，并结合深度学习能力，使其在光刻和晶圆厂内其他的 工艺模块中能够捕获关键缺陷，从而快速识别并纠正工艺问题。 主要应用 生产线监控、设备监控、设备认证、193i 和 EUV 光阻认证