光学检查机 29xx series

带图案晶圆用于电子工业裂纹

宽光谱等离子图案晶圆缺陷检测系统 295x系列宽光谱等离子缺陷检测系统在光学缺陷检测方面进一步提高，可在≤7nm设计节点的逻辑和领先内存中发现影响良率的关键缺陷。2950和2955宽光谱等离子缺陷检测仪采用增强型宽光谱等离子照射技术以及全新的pixel•point™ 和 nano•cell™设计认知技术，具备在各种制程层、材料类型和制程堆叠上捕获关键缺陷所需的灵敏度。作为在线监测的行业标准，295x系列将灵敏度与光学晶圆缺陷检测速度相结合，实现了Discovery at the Speed of Light™ (光速发现)功能–既可以快速发现缺陷也能够以最低拥有成本完全表征缺陷问题。 主要应用 缺陷发现、制程弱点发现、制程调试、工程分析、生产线监控、制程窗口发现 相关产品 39xx 系列: 具有超分辨率深紫外（SR-DUV）波段的宽光谱等离子晶圆缺陷检测仪，与29xx系列的检测性能相辅相成，用于发现≤10nm设计节点器件上的缺陷。 2930 and 2935: 宽光谱等离子体晶圆缺陷检测仪，针对10nm及以下的逻辑和高级内存器件提供影响良率的关键缺陷的检测。 2920 and 2925: 宽光谱等离子体晶圆缺陷检测仪，针对16nm及以下的内存和逻辑器件提供影响良率关的关键缺陷的检测。 2910 and 2915: 宽光谱等离子体晶圆缺陷检测仪，针对2X / 1Xnm内存和逻辑器件提供影响良率的相关缺陷检测。 2900 and 2905: 宽光谱等离子晶圆缺陷检测仪，针对2Xnm内存和逻辑器件提供影响良率的相关缺陷的检测。