高产率多用途图案晶圆检测系统
8系列图案化晶圆检测系统能够以极高的产量对各种缺陷类型进行检测,从而快速识别和解决生产工艺问题。 8系列可以对150mm、200mm或300mm硅和非硅基片晶圆进行经济有效的缺陷检测,从最初的产品开发到批量生产,能帮助晶圆厂通过对更多批次晶圆进行采样来降低偏移风险。 8系列晶圆缺陷检测系统采用可选光谱的LED扫描技术、同步明场和暗场光路以及自动晶圆缺陷分类,旨在使技术先进的IC晶圆厂和传统技术节点晶圆厂都能够加速其产品交付 – 可靠并且低成本。
应用
工艺监控,设备监控,出厂质量控制 (OQC)
相关产品
CIRCL: 8系列检测技术也可以作为CIRCL缺陷检测、量测和检视集群设备中的一个模块。