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半导体树脂 KrF高耐拉力光敏高热敏
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产品规格型号
- 用途
- 用于半导体
- 技术特性
- 高耐拉力, 光敏, 高热敏
产品介绍
特点与优势
GKR 系列是用途广泛的正性KrF光刻胶产品。
• - 高纵宽比应用
• - 优异的抵抗性（等离子刻蚀和离子注入工艺中）
• - 优异的热稳定性
• - 工艺窗口广
• - 低缺陷水平
• - 长期稳定性
• - 垂直形貌
• - 厚度覆盖范围广
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