产品简介通过正面装载实现对前驱体材料的精确温度控制。TC2000™ 系列在加工过程中维持精确的前驱体温度,以保证稳定的蒸气压和可重复的工艺结果。
产品概要- TC2000™ - 温度控制器
- 三档温度范围
- 冷却/加热 15°C-40°C
- 加热 35°C-70°C
- 超热 55°C-90°C
硬件配置- 单机(Stand alone)
- 远程电子(Remote electronics)
- 机架式(Rack Mounted)
特点与优势- 前置装载,便于访问与维护
- 预装自动加注功能
- 兼容大多数行业标准安瓿瓶
- 支持最多 1.5 L 的石英容器
- 设计灵活,便于与生产线集成
特性 / 规格技术- 型号系列:TC2000™
- 用途:在加工过程中精确控制前驱体温度以维持稳定的蒸气压
- 温度范围:冷却/加热 15°C-40°C;加热 35°C-70°C;超热 55°C-90°C
- 硬件配置:单机;远程电子;机架式
- 装载方式:前置装载
- 加注:预装自动加注功能
- 安瓿兼容性:兼容大多数行业标准安瓿瓶
- 容器支持:最多 1.5 L 石英容器