清洁溶剂 RER series

用于电子元件

概述
用于光刻胶洗边（Edge Bead Removal，EBR）、返工、冲洗和预润湿应用的一系列特种溶剂混合物。Fujifilm 提供适用于严苛光刻要求的超高纯度溶剂和定制配方，以控制颗粒、微量金属与有机污染物。

产品系列

• 醇类与酮类
  • 甲醇
  • 丙酮
  • MEK
  • 乙醇
  • IPA
  • MIBC
  • MIBK
  • 环戊酮
  • 环己酮
• 醋酸酯、内酯与醚类
  • PGME
  • PGMEA
  • GBL
  • EL
  • nBA
• EUV 溶剂与定制混配
  • EUV 专用溶剂及客户定制配方（请咨询您的 Fujifilm 客户经理）

特点与优势

• 超高纯度等级以减少缺陷和污染
• EUV 优化溶剂可改善图形化控制并降低光刻胶膨胀
• 支持定制工艺与配方
• 采用先进分析测试以确保产品纯度和一致性
• 在美国、欧洲和亚洲实现区域化生产与包装
• 包装选项：
  • 1–4L 玻璃瓶
  • NOWPak
  • 桶装：不锈钢、PFA、HDPE
  • IBC：不锈钢、PFA、HDPE
  • ISOtainer

技术规格

• 品牌：Fujifilm
• 产品名称 / 系列：NTI Developers
• 适用场景：光刻胶洗边（EBR）、返工、冲洗、光刻前预润湿等应用
• 可用化学类别：醇类、酮类、醋酸酯、内酯、醚类、EUV 专用溶剂
• 代表化学物质：甲醇、丙酮、MEK、乙醇、IPA、MIBC、MIBK、环戊酮、环己酮、PGME、PGMEA、GBL、EL、nBA
• 纯度/质量：超高纯度等级；产品符合颗粒、微量金属和有机污染物的全球标准
• 定制化：可提供定制溶剂混合物和工艺支持
• 生产与包装：区域化生产（美国、欧洲、亚洲）；包装选项包括玻璃瓶（1–4 L）、NOWPak、桶装（不锈钢、PFA、HDPE）、IBC（不锈钢、PFA、HDPE）、ISOtainer
• 分析保证：使用先进的分析工具验证纯度和质量
• 商标注记：NOWPak 是 Entegris, Inc. 在美国和/或其他国家的商标或注册商标