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... 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP 5000 TR 三光束 激光 干涉仪是一种精密长度测量仪器，它将三个 干涉仪集成在一个设备中。所有三个测量通道都由一个具有相同高稳定 激光频率的光源提供。因此，可以同时测量三个长度值，精度达到纳米级。 ...
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... 以及多坐标测量而言，高精度且可靠的测量结果至关重要。 我们的通用 激光 干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度长度测量需求的理想解决方案，并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展，以适应您新的测量项目。 紧凑型 SP 5000 NG 干涉仪操作简便，调整快速且简单。它能在不同的环境和操作条件下提供高精度的测量结果。借助内置传感器， 干涉仪的对准过程简单、快速且非常精确。因此，可以避免因传感器对准不正确而导致的误差。 ...
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... 我们的超稳定差分 激光 干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域长期测量（例如材料性能分析）的首选。 与标准 干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并与测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 该 干涉仪的长度分辨率处于亚纳米量级，且得益于差分原理，即使在普通实验室条件下，也能在相当的测量距离或光束长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行测量，长度测量范围可达数米。该 干涉测量系统采用模块化设计，因此可根据具体的测量任务进行调整 ...
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... SP 15000 NG 长距离 激光 干涉仪专为长距离长度测量而设计，是在 SP 5000 NG 产品系列基础上进一步发展的产品。传感器头配备了额外的光学元件，可将 激光束最佳地适应于大测量长度。 大型坐标测量机和机床、长线性轴以及校准距离是这款精密线性编码器的主要应用领域。在测量过程中，房间或测量位置的温度分布对测量结果的准确性起着决定性作用。 因此，对于高精度应用，我们建议将该 干涉仪与我们的 ...
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... 超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分 干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定长度测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装，因此该精密测量系统非常适合作为闭环控制中的 激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点，通常将其放置在测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。该 干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能实现亚纳米级别的长度分辨率。 测量范围可达数米，且可使用 ...
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... DS 双光束 激光 干涉仪用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该 干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。 两束测量 激光束均采用同一 激光器发出的、频率相同的光。 两束测量 激光束之间的光束间距经过高精度校准。测量 激光束之间的平行度至关重要。如果两束 激光均使用同一个反射器，则可通过计算两束光之间的差值，在运动过程中以高分辨率测量并计算角度。 如果两束 激光独立运行，则可进行差分测量。 ...
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... 高精度动态采集机床轴的导向特性以及随后进行符合标准的校准是一个非常耗费人力和时间的过程，最终可实现高定位精度。 SP 15000 C6 NG 校准 激光 干涉仪是专为满足坐标测量机和高精度机床制造商的要求而开发的。它可以进行同步、连续测量，并与可选的滚动角传感器一起进行 6 DoF 测量。长度、俯仰角、偏航角和直线度等 x 和 y 轴对中的测量值通过 激光 干涉仪高精度获取，在所有三个长度测量通道中使用相同的高稳定 激光频率。 可通过选配软件实现整机验收或体积补偿。 ...
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... 产品说明
SP 5000 DI/DS 将差分
干涉原理与多束
干涉技术结合，可同时实现稳定的长度测量和
干涉角度（倾角）测量。该配置可在较大区域内检测极微小位移和细微倾角，同时降低温度及环境扰动的影响。
主要特性
- 四束激光干涉的位移‑角度差分测量系统
- 稳定的差分长度和俯仰角（角度）测量
- 适用于
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