温度调节系统 Semistat S 4400

产品概述
Semistat S 4400 是一款用于工艺现场（Point-of-Use）的热电温度控制单元，适用于需要快速且精准温度控制的工艺应用。其紧凑结构和可选的地板下安装方式可减少洁净区占用空间。将过程温度控制精度维持在 ±0.1 K 可提升晶圆间均匀性，同时相比压缩机系统显著降低能耗。

性能特征

• 低能耗的热电工艺恒温器
• 无制冷剂冷却技术，运行噪音低且振动小
• 无需滤网或去离子（DI）组件
• 带有洁净干燥空气（CDA）吹扫接口以防止冷凝
• 使用全氟化传热液体
• 水冷式设计
• 整体体积小、重量轻
• 传热液体用量极少
• 符合 SEMI S2 与 F47 标准

工作范围

• 最小工作温度：-20 °C
• 最大工作温度：90 °C
• 温度稳定性：±0.1 K

冷却能力（示例）
温度 — 冷却能力 50 Hz — 冷却能力 60 Hz
20 °C — 4.4 kW — 4.4 kW
10 °C — 3.5 kW — 3.5 kW
0 °C — 2.6 kW — 2.6 kW
-10 °C — 1.65 kW — 1.65 kW
-20 °C — 0.7 kW — 0.7 kW

技术参数（依据 DIN 12876）

• 工作温度范围：-20 ... 90 °C
• 温度稳定性：±0.1 K
• 最小加热功率：12 kW
• 最小灌注体积：2.5 L
• 最大灌注体积：2.8 L
• 外形尺寸（宽×深×高）：194 x 300 x 560 mm
• 重量：38 kg
• 电源：Connection to PSC