无显示温度调节器 Semistat S 1200

电热工艺流程

与基于压缩机的系统相比，通过在使用地点 (Point-of-Use) 使用温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。 技术特征 温度稳定性 0.1 ± K 最小加热功率 3 kW 最小灌注容积 1 L 最大灌注容积 1.3 L 尺寸（宽x深x高） 116 x 232 x 470 mm 重量 15 kg 电源供应 Connection to PSC