光学检查机 C30x

带图案晶圆用于电子工业裂纹

C30x 系列宽频等离子体光学检测仪可对汽车、物联网、5G、消费电子和工业（军事、航空航天、医疗）市场的芯片制造提供系统缺陷检测和潜在可信度缺陷检测。C30x 检测仪采用可调谐宽频光源、先进光学器件和低噪声传感器来检测一系列工艺层和设备类型的关键缺陷。NanoPoint™ 技术将检测重点放在可靠性故障高风险的图案区域，提供可操作的缺陷数据，有助于减少漏网和误宰。通过发现系统缺陷，C30x 检测仪有助于加快研发过程中新工艺、设计节点和设备的表征和优化。在制造过程中，光学检测速度快、灵敏度高的 C30x 系统可对关键工艺层进行线上监测，以免晶圆厂发生影响最终芯片质量的缺陷偏移。C30x 检测仪采用可扩展、可配置的平台，支持 200mm 和 300mm 晶片尺寸。 C30x 宽频等离子体检测仪采用以下技术： 宽频等离子体光源 C30x Series 检测仪采用高亮度 DUV/UV/可见光源，以增强对关键缺陷的信号。 可调谐波段 众多波段可实现不同工艺层和设备类型的最佳对比度所需的操作灵活度。 多像素 C30x采用小像素尺寸，可检测影响设备成品率和可信度的微小关键缺陷。 高数据速率传感器 C30x 采用低噪声、高数据速率传感器，可实现高速操作，以提高晶圆厂的检测能力。 可选择光学孔径 C30x 的多孔径可增强噪声抑制，以检测棘手芯片区域的缺陷。 NanoPoint™ NanoPoint™ 技术将检测重点放在可靠性故障率高风险的微图案区域，提供可操作的缺陷数据，有助于减少误宰。 先进算法 定制缺陷检测算法可抑制与图案或工艺变化相关的噪声，从而提高对关键成品率和可信度缺陷的检测。 自动缺陷分类 C30x Series 通过实时缺陷分类，加快了可操作缺陷 Pareto 的检测速度，以支持晶圆厂工程师专注于最关键的缺陷问题。