光学检查机 eDR7380™

晶圆用于电子工业裂纹

电子束晶圆缺陷检视和分类系统 eDR7380™电子束晶圆缺陷复检与分类系统为宽禁带半导体的晶圆和芯片制造提供支持。它可提供高分辨率的缺陷图像，并使用基于机器学习的自动缺陷分类功能生成准确的缺陷”帕累托(pareto)”数据排列图。eDR7380生成的数据有助于更快地溯源开发过程中的缺陷，更快地进行参数偏移检测，并在生产过程中提供更准确、可操作性更强的数据。eDR7380生成的缺陷信息有助于加快各种衬底类型（碳化硅、氮化镓、玻璃、蓝宝石、压电绝缘层(POI)等）和设备类型（电源、发光二极管、光子器件、射频、微机电系统等）的面市时间。eDR7380基于灵活的，可配置的平台构建，可针对各种尺寸（150、200、300毫米）和不同厚度（180至1500微米）的晶圆上广泛的缺陷尺寸和类型进行复检与分类。 eDR®是KLA 公司的注册商标。 主要应用 缺陷成像、在线自动缺陷分类和性能管理、裸片晶圆出厂和入厂质量控制、晶圆处置、制程弱点发现、缺陷发现、EUV光刻检查、制程窗口发现、制程窗口认证、晶圆斜面边缘检视。 相关产品 eDRX1电子束晶圆缺陷复检与分类系统为硅基晶圆和芯片的制造提供支持。