Hitachi/日立检测系统

... 采用散射强度模拟技术优化照明和检测光学器件，能够对制造过程中产生的图案化晶片缺陷进行高灵敏度检测。它在镜面晶片上的检测灵敏度为 0.1 微米标准粒度。因此，它甚至可以检测物联网和汽车领域半导体设备中使用的 0.3 毫米见方的超小型芯片，通过优化检测顺序，缺陷检测速度可达每小时 ...

... 在半导体工厂的生产线上，应快速检测出异常情况，以避免产量损失。 为满足这一需求，DI4600 设计用于高灵敏度和高产能地检测图案化晶片上的缺陷。高灵敏度和高产能是通过结合使用片束光学系统和空间滤波器的精确光分离实现的。 DI4600 系统已作为在线缺陷管理工具安装并运行在最先进的存储器和逻辑半导体工厂中。 更高的产量和检测灵敏度，适用于大批量生产 - ...

... 通过开发和评估磁盘表面检测系统，在同一主轴上通过光学干涉、多轴承激光照射和新开发的倾斜缺陷法进行测量，可检测出复杂的分类缺陷。 - 在同一主轴上使用多个光学镜头进行检测。 - 利用缺陷法检测高灵敏度的微小缺陷。 ...

... 一种用于基板和磁盘的高精度表面检测系统，具有通过激光照射多林和新开发的倾斜缺陷法进行复杂缺陷分类的功能。 - 通过缺陷法高灵敏度地检测微小缺陷。 - 在同一主轴上使用多个光学镜组进行检测。 - 反射仪和散射仪方法。 ...

... BM3100 系列磁头测试仪是测量磁记录磁头磁场宽度的强大设备。它使用磁力显微镜 (MFM)，可以高分辨率测量磁场宽度，并在高速传送定位和高速条件下以无损（非接触）方式进行测量。这种高速、全自动设备可支持批量生产。 - 该设备采用排棒工艺测量写入元件的磁场。 - 通过 MFM 方法进行高分辨率磁场测量 - 支持大规模生产的高产能 ...

... 玻璃板检测系统，用于控制中小型 LCD 和有机 EL 面板生产过程中的污染。 日立专有技术可对薄玻璃板的前表面/后表面进行单独检测。 高可靠性带来了高检测灵敏度、高速检测和高倍率污染物观察。是面板制造过程中控制污染的理想之选。 - 支持薄板玻璃 玻璃厚度：0.3 毫米 - 0.7 毫米；最大玻璃板尺寸：1300 ...