玻璃表面检测系统 GI5400

污染

玻璃板检测系统，用于控制中小型 LCD 和有机 EL 面板生产过程中的污染。 日立专有技术可对薄玻璃板的前表面/后表面进行单独检测。 高可靠性带来了高检测灵敏度、高速检测和高倍率污染物观察。是面板制造过程中控制污染的理想之选。 - 支持薄板玻璃 玻璃厚度：0.3 毫米 - 0.7 毫米；最大玻璃板尺寸：1300 毫米 × 1500 毫米 - 精确的前后表面分离检测 前后分离系数：150（前表面：φ0.3 µm；后表面：φ50.0 µm；裸玻璃厚度：0.7 mm） - 检测灵敏度高 表面杂质 φ0.3 µm - 高速检测 1300 mm × 1500 mm，90 秒内（2 头光学系统，φ1.0 µm 高速模式） - 可在监视器上以高倍率观察污染物