激光检测系统 NS7000 series

表面

一种用于基板和磁盘的高精度表面检测系统，具有通过激光照射多林和新开发的倾斜缺陷法进行复杂缺陷分类的功能。 - 通过缺陷法高灵敏度地检测微小缺陷。 - 在同一主轴上使用多个光学镜组进行检测。 - 反射仪和散射仪方法。