环形陶瓷

氧化铝绝缘

陶瓷聚焦环是半导体蚀刻工艺的关键部件。如果选择铝合金作为蚀刻腔材料，很容易造成金属颗粒污染。因此，在制造陶瓷聚焦环时采用了高纯度（99.5% 以上）氧化铝陶瓷作为等离子蚀刻设备的腔体材料。 陶瓷聚焦环的特点： 陶瓷聚焦环的特点 -耐磨损、 -耐腐蚀、 -优异的机械性能、 -电绝缘、 -符合半导体产品的质量标准。 Innovacera 在技术陶瓷解决方案、先进陶瓷元件和半导体行业拥有超过 10 年的丰富经验。我们建立了高标准的质量体系和严格的质量控制流程，每一批产品都经过严格的质量检验。满足质量要求、让客户满意是 Innovacera 的服务理念。 如果您需要氧化铝陶瓷聚焦环，欢迎与我们联系。