环形陶瓷

氧化铝氮化硼防护

氧化铝陶瓷插入环室是一种专门的抗等离子组件，利用氧化铝（Al₂O₃）的独特性能在极端等离子环境中发挥作用。 氧化铝陶瓷插入环室具有高耐热性、电绝缘性和抗溅射性，可作为保护屏障和稳定器。它能保护关键部件（如电极、传感器）免受离子轰击和化学侵蚀，防止电流泄漏/刺穿，确保等离子体分布均匀（如在半导体蚀刻中），并能抵御活性气体污染（如 Cl₂、F₂）。尽管脆性和抗热震性有限，但复合材料加固或涂层（如氮化硼）增强了其在半导体和航空航天等极端应用中的使用，在成本和性能之间取得了平衡。