原子力显微镜

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产品概述
原子力显微镜（晶圆级AFM）是一款高分辨率扫描探针仪器，设计用于在晶圆尺度上表征导体、半导体和绝缘体的三维表面形貌及多功能物性，具有自动探针接近和高精度定位能力。

功能特点

• 先进的多功能测试：测量能力包括杨氏模量、粘附力、磁畴成像、表面电位、功函数等物理量。
• 适应性环境：兼容培养皿、加热台等配件；支持空气相和液相测量，并可在水下和高温环境下运行。
• 智能探针接近：采用压电扫描管实现一键智能针/探针插入。
• 样品尺寸适配：为12英寸晶圆搬运设计，向下兼容8、6、4英寸晶圆及碎片样品。

技术指标

• 噪声水平（XY）：0.2 nm（闭环），0.02 nm（开环）。
• 噪声水平（Z）：0.06 nm（闭环），0.03 nm（开环）。
• 非线性：0.15%（XY），1%（Z）。
• 扫描模式：XYZ全探针扫描模式（扫描过程中样品保持静止）。
• 扫描范围：90 μm × 90 μm × 9 μm。
• 扫描速率：0.1 Hz 至 30 Hz。
• 图像采样点：从32 × 32到4000 × 4000。
• 样品尺寸兼容性：12英寸晶圆；向下兼容8、6、4英寸晶圆及碎片。
• 工作模式：接触、敲击（tapping）、非接触。
• 适应环境：空气相和液相。
• 多功能测量模式：电荷力显微镜（EFM）、扫描开尔文探针/力显微镜（KPFM）、压电力显微镜（PFM）、导电AFM（C-AFM）、扫描电容力显微镜（SCFM）、磁力显微镜（MFM）、横向力显微镜（LFM）、纳米刻蚀/加工、单点力谱、力调制模式。
• 可选：全自动上下料。
• 全自动探针接近系统：行程35 mm，步进精度50 nm。

代表图像 / 实例

• 球状蛋白样品形貌图（tapping模式）。
• Au-Ti条带电极电位 — 由KPFM（lift模式）扫描，示例扫描范围：18 μm × 18 μm。
• Au-Ti条带电极静电力 — EFM（lift模式），示例扫描范围：18 μm × 18 μm。
• Fe-Ni薄膜磁畴 — MFM（lift模式），示例扫描范围：14 μm × 14 μm。
• PbTiO3压电垂直振幅图 — PFM（接触模式），示例扫描范围：20 μm × 20 μm。
• 聚苯乙烯球形态 — tapping模式，示例扫描范围：10 μm × 10 μm。
• SiC长晶形貌图片。

特性 / 规格

• 探针类型：用于三维表面表征的微悬臂梁探针结构。
• 成像分辨率：最高可达20皮米（系统声明）。
• 定位台：带光学成像的电动样品定位台；300 mm × 300 mm 区域内定位精度1 µm。
• 自动化：自动探针接近和扫描参数调整；可选全自动晶圆上/下料。
• 环境与样品支持：支持培养皿、加热台、液体池和高温装置以满足灵活实验条件。
• 典型应用：材料表征、磁畴成像、表面电位映射、压电响应映射、生物与无机样品的纳米尺度形貌分析。