分子束外延系统

GEN20 MBE 系统 设计可针对 III-V 和新型材料进行配置的超灵活工具 Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一款可针对 III-V 和新型材料配置设计（包括需要电子束集成技术的应用）的超灵活工具。该系统包含了生产设计技术，可支持选配的组合设备工具晶片传输系统以实现理想的实验室到工厂迁移 适用于材料研究和预生产环境 通过 12 MBE 源端口和用于添加电子束功能的选件，实现源到基底的垂直走向 手动或自动晶片传输选件 可配置冷凝板、操作器、快门和原位监测设备 模块化设计，最多允许两个生长模块

GEN200 MBE 系统 市场中最经济高效且产量最高的 multi-4" 生产 MBE 系统 Veeco 的 GEN200® MBE 系统是如今市场中最经济高效且产量最高的 multi-4" 生产 MBE 系统。该系统具有优异的生产能力、较长的运行时间，可为诸如泵激光器、VCSEL 和 HBT 等器件应用生长质量卓越的基于 GaAs 或 InP 的薄片。 提供成本最低的 4 x 4" 磊晶片生长 模块化体系结构的系统占用空间明显小于同类 MBE 系统 最多支持两个生长模块，提高了产量或允许生长不兼容材料 可选隔板安装，优化了清洁室空间 包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件

GEN930 研发 MBE 系统 经济高效并可提供久经验证的优异材料质量的灵活解决方案。 GEN930® MBE 系统是开发氮化物和氧化物应用中带直接泵联轴器的 III-V 族或 II-VI 族化合物材料的理想选择。模块化设计可确保获得经济高效并可提供久经验证的优异材料质量的灵活解决方案。还可以根据请求，轻松集成用于对生长过程进行原位监测的可选分析设备。 低成本的模块化设计提高了根据需要扩展系统功能的灵活性 多功能平台具有多种原位监测技术：RHEED、高温测量、椭圆偏振术、RGA、光学流量监测和反射光谱 包含 ...

GENxcel R&D MBE 系统 高质量的外延层在基板上的直径长达 4 英寸 屡获殊荣的全新 GENxcel™ 系统扩展了 GENxplor™，这是自 2013 年 8 月推出以来最畅销的 MBE 系统，与 GENxplor 系统上的 3 英寸能力相比，在单个 4 英寸基板上具有高品质的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统，12 个源端口和现代电子元件，完全集成到单个框架设计中，以实现最大的实验室空间利用效率。 高质量的外延层在基板上的直径长达 ...

GEN10 MBE 系统 自动晶片传输系统提高了设备使用率 GEN10™ MBE 系统是久经验证的平台上最经济、灵活的组合设备工具系统， 可提供最多三个可配置的用于特定材料的生长模块。这可以提高设备使用率，允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作。再佐以 Veeco 组件技术，从而构成 MBE 业界的任何应用领域都选择使用 GEN10™ MBE 系统的关键原因。 自动晶片传输系统提高了设备使用率，允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作 花费较低成本即可升级到其他生长模块（最多三个） 可选配的材料生长模块可实现在一个真空系统中生长原本不兼容的材料 可直接升级为更大规模生产的 ...