分子束外延系统 GEN20™

GEN20 MBE 系统 设计可针对 III-V 和新型材料进行配置的超灵活工具 Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一款可针对 III-V 和新型材料配置设计（包括需要电子束集成技术的应用）的超灵活工具。该系统包含了生产设计技术，可支持选配的组合设备工具晶片传输系统以实现理想的实验室到工厂迁移 适用于材料研究和预生产环境 通过 12 MBE 源端口和用于添加电子束功能的选件，实现源到基底的垂直走向 手动或自动晶片传输选件 可配置冷凝板、操作器、快门和原位监测设备 模块化设计，最多允许两个生长模块