气体分配系统 GSDS-Series

气体源交付系统 用于 Veeco MBE 气体源精确控制 Veeco 的气体源传送系统 (GSDS) 提供对气体的精确控制、互锁和监测惰性气体、有害气体和/或可燃气体。Molly® ECS1 生长控制软件可轻松与现有系统实现集成 提供各种组合选项以符合各种需求及预算。所有组合均附带每条管路的手动气管切断阀、气体过滤净化器、质量流量控制器和气动控制运行排气阀。 对 Veeco MBE 气体源实现高效、安全的气体控制 便捷的操作和监测流程 三种模型配置以满足特定应用和预算