分子束外延系统 GEN930®

GEN930 研发 MBE 系统 经济高效并可提供久经验证的优异材料质量的灵活解决方案。 GEN930® MBE 系统是开发氮化物和氧化物应用中带直接泵联轴器的 III-V 族或 II-VI 族化合物材料的理想选择。模块化设计可确保获得经济高效并可提供久经验证的优异材料质量的灵活解决方案。还可以根据请求，轻松集成用于对生长过程进行原位监测的可选分析设备。 低成本的模块化设计提高了根据需要扩展系统功能的灵活性 多功能平台具有多种原位监测技术：RHEED、高温测量、椭圆偏振术、RGA、光学流量监测和反射光谱 包含 Veeco GEN II MBE 系统（GaAs 和 AlGaAs 性能记录保持者）的核心技术 包含行业最具创新性、可靠的源和组件