晶圆用显微镜

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透射电子显微镜
透射电子显微镜
SU9000 II

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.4, 1.2 nm

... 超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。 • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) • 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 • 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。 ...

光学显微镜
光学显微镜
Eclipse LV100ND

重量: 9.5 kg
长度: 657 mm
宽度: 251 mm

... 采用尼康CFI60-2光学系统设计,成像清晰;可搭配数码相机拍照;模块化设计,方便应对各种功能扩展。 尼康ECLIPSE LV100NDA和LV100ND 同时带有反射和透射照明的显微镜,用于工业材料和零部件的检查,以及产品研发。 尼康CFI60-2光学系列物镜 尼康的创新设计,支持实现清晰的、高对比度的明场、暗场、偏光(POL)、微分干涉(DIC)镜检,以及双光束干涉测量。 尼康Digital Sight数码相机 尼康全系列Digital Sight数码相机都能高效地进行拍照,并可将当前在用物镜、倍率转换设置和照明光亮度等参数一起传送到NIS-Elements显微镜图像处理软件中。 多种镜检方式 反射照明下可选择的镜检方式有:明场、暗场、偏光(POL)、微分干涉(DIC)、荧光和双光束干涉; 透射照明下可选择的镜检方式有:明场、暗场、偏光(POL)、微分干涉(DIC)和相差。 多种配件 有多种配件可供用户选择。 载物台、物镜、物镜转换器、目镜、目镜筒、数码相机、滤光片和偏光片等。 ...

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Nikon Metrology
晶圆用显微镜
晶圆用显微镜
SAM 300 AUTO WAFER

... SAM 300 自动晶片是为粘结晶片生产控制而开发的产品线。 它与洁净室 10 级兼容。 主要应用是在晶圆粘接界面上检测空隙、夹杂物和分层区域。 ...

晶圆用显微镜
晶圆用显微镜
MPS150

空间分辨率: 5 µm

... 在灵活的模块基础上,以令人难以置信的价格定制您的150毫米探测站! FormFactor为其一流的150毫米探针台引入了一个新的模块概念。这将使您更容易以令人难以置信的价格配置您的个人测头解决方案,以满足当前和未来的需求。只需选择一个基站,并根据你的需要增加特定应用的启动套件。 同轴 - 直流参数测试,低至pA水平 - 可移动的压板,高度可调整到40毫米,200微米的接触/分离行程和±1微米的重复精度 - 卡盘平台,具有可调的摩擦力和平台锁,独特的Z型卡盘调整和90毫米的拉出量 - 磁性定位器的特征分辨率为1 ...

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FORMFACTOR
数字显微镜
数字显微镜
VHX-X1

倍率: 2,500 unit - 6,000 unit
重量: 10.8 kg

... 除级别超高*分辨率4K CMOS和支持4K的镜头外,还搭载了Advanced Optical Shadow Effect Mode功能,甚至能够清晰地观测到看不到的细小凹凸。全新操作系统,可直观操作。瞬间自动判别差异的异常识别功能、分析范围是传统平台9倍*的300 mm大型平台以及支持金相显微镜的高分辨率旋转镜头等,是一个通过各种自定义来支持各种分析业务的全新显微镜系统。*与本公司VHX 系列产品的比较 自动突显瑕疵的“搜索照明” 在照明不断实时切换的同时进行观测。 细微形状自动突显。 广泛应用于外观检测以及研究开发等各种情况。 突显真实表面状态的“Advanced ...

原子力显微镜
原子力显微镜

空间分辨率: 0.02 µm

... 产品概述
原子力显微镜(晶圆级AFM)是一款高分辨率扫描探针仪器,设计用于在晶圆尺度上表征导体、半导体和绝缘体的三维表面形貌及多功能物性,具有自动探针接近和高精度定位能力。

功能特点

  • 先进的多功能测试:测量能力包括杨氏模量、粘附力、磁畴成像、表面电位、功函数等物理量。
  • 适应性环境:兼容培养皿、加热台等配件;支持空气相和液相测量,并可在水下和高温环境下运行。
  • 智能探针接近:采用压电扫描管实现一键智能针/探针插入。
  • 样品尺寸适配:为12英寸晶圆搬运设计,向下兼容8、6、4英寸晶圆及碎片样品。

技术指标
  • 噪声水平(XY):0.2
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