SIOS Meßtechnik长度测量干涉仪

... 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步 测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和 长度 测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP 5000 TR 三光束激光 干涉仪是一种精密 长度 测量仪器，它将三个 干涉仪集成在一个设备中。所有三个 测量通道都由一个具有相同高稳定激光频率的光源提供。因此，可以同时 测量三个 长度值，精度达到纳米级。 ...

... 对于导轨、 测量台、显微镜和定位台、坐标 测量机及机床上的 长度 测量和校准，以及多坐标 测量而言，高精度且可靠的 测量结果至关重要。 我们的通用激光 干涉仪 SP 5000 NG 是满足您高精度 长度 测量需求的理想解决方案，并可随时通过该产品系列的其他组件进行扩展，以适应您新的 测量项目。 紧凑型 ...

... 我们的超稳定差分激光 干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域长期 测量（例如材料性能分析）的首选。 与标准 干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并与 测量光束平行。这种设计使得传感器可以放置在距离实际 测量位置更远的地方，而不会显著影响 测量的分辨率或稳定性。 该 干涉仪的 长度分辨率处于亚纳米量级，且得益于差分原理，即使在普通实验室条件下，也能在相当的 测量距离或光束 长度下实现这一分辨率。 如果使用抗倾斜反射器进行 测量， 长度 测量范围可达数米。该 干涉 测量系统采用模块化设计，因此可根据具体的测量任务进行调整 ...

... SP 15000 NG 长距离激光 干涉仪专为长距离 长度 测量而设计，是在 SP 5000 NG 产品系列基础上进一步发展的产品。传感器头配备了额外的光学元件，可将激光束最佳地适应于大 测量 长度。 大型坐标 测量机和机床、长线性轴以及校准距离是这款精密线性编码器的主要应用领域。在 测量过程中，房间或 测量位置的温度分布对 测量结果的准确性起着决定性作用。 ...

... 超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分 干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定 长度 测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装，因此该精密 测量系统非常适合作为闭环控制中的激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点，通常将其放置在 测量范围的中间位置，以实现最佳的 测量值稳定性。该 干涉仪的基本原理基于 ...

... DS 双光束激光 干涉仪用于需要同时获取运动角度和 长度信息的 测量任务。该 干涉仪的 测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。 两束 测量激光束均采用同一激光器发出的、频率相同的光。 两束 测量激光束之间的光束间距经过高精度校准。 测量激光束之间的平行度至关重要。如果两束激光均使用同一个反射器，则可通过计算两束光之间的差值，在运动过程中以高分辨率 测量并计算角度。 如果两束激光独立运行，则可进行差分 测量。 ...

... 用于高精度同步 测量和校准定位轴 长度、俯仰角、偏航角和直线度的激光 干涉仪 - 灵活的高精度 长度 测量系统 - 长距离高精度 长度 测量 - 同步、连续地 测量 长度、俯仰角、偏航角和直线度，还可与可选的滚动角传感器一起进行 ...

... br>SP 5000 DI/DS 将差分 干涉原理与多束 干涉技术结合，可同时实现稳定的 长度 测量和 干涉角度（倾角） 测量。该配置可在较大区域内检测极微小位移和细微倾角，同时降低温度及环境扰动的影响。

主要特性

• 四束激光干涉的位移‑角度差分测量系统
• 稳定的差分长度和俯仰角（角度）测量
• 适用于