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干涉测量轮廓测量仪
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... Panasonic UA3P 轮廓仪系列专为测量非球面透镜和模具、半导体晶片以及任何其他需要纳米级精度的精密部件而设计,测量范围可达 200mm x 200mm。不同型号的机器可满足您对光学和高纵横比测量的需求。 UA3P-300、UA3P-4 和 UA3P-5 都能为用户提供原子力显微镜技术的精度和坐标测量机的测量范围。我们的独特方法是在测针中使用原子力探针技术和基于氦氖激光的 XYZ 轴干涉定位技术。 将这项技术与坚固的花岗岩基座相结合,您就拥有了一个可以在工厂车间使用的坚固的计量系统,而且还能提供 ...
... 以亚纳米分辨率分析形状和粗糙度、纹理、划痕和缺陷、微结构、微机电系统或半导体 Micro.View+ 是一款具有最高重复性和测量精度的表面轮廓仪。 用于纳米粗糙度和微结构的模块化光学轮廓仪 TopMap Micro.View+是Polytec公司的新一代光学表面测量技术。它采用模块化设计可根据您的表面检测任务进行各种配置无论是精密制造部件还是微系统的纹理、微结构、形状或粗糙度。Micro.View+ 专为测量和研究实验室而设计但通过集成纯传感器也适用于在线应用。 可视化三维形貌并使用彩色模式进行更有意义的可视化和区分例如表面缺陷或记录。可选配 ...
... 用于微观结构和粗糙度的紧凑型光学轮廓仪 TopMap Micro.View®是TopMap系列白光干涉仪中的紧凑型表面轮廓仪,可对微观结构、纹理、光洁度和面积粗糙度参数(Sa、Sz...)进行可重复的高分辨率表面检测。 以亚纳米分辨率快速扫描表面! 。通过集成CST连续扫描技术,Z轴100毫米的行程提供了完整的100毫米测量范围,垂直分辨率在纳米范围内。这款光学轮廓仪的特点是设计紧凑,集成了电子元件,使用方便,例如,通过自动寻焦功能,在生产环境和测试实验室中进行快速有效的测量。 + ...
... 表面细节、形状参数和粗糙度的综合光学三维测量 TopMap Pro.Surf+为所有表面表征要求提供定制解决方案,评估形状参数,如平面度、台阶高度、平行度和表面粗糙度。其空间分辨率和远心光学系统可到达深层区域,加上无与伦比的测量速度,显示了这种生产计量工具的高性能。 TopMap Pro.Surf+ 使用诸如平面度、台阶高度、平行度和粗糙度等参数为所有表面特性要求提供定制解决方案。总之,空间分辨率、远心镜头和速度确实令人印象深刻。 白光干涉仪与色彩共焦技术的组合意味着不会忽略任何细节。几秒钟内就可完成 ...
... Nexview™ NX2 三维光学轮廓仪专为最苛刻的应用而设计,集卓越的精度、先进的算法、应用灵活性和自动化于一身,是 ZYGO 最先进的相干扫描干涉测量(CSI)轮廓仪。 这种完全非接触式技术可在所有放大倍率下提供亚纳米级的精度,并且能够比其他商用同类技术更快、更精确地测量更多的表面类型,优化了投资回报率。Nexview NX2 应用范围广泛,可以测量几乎任何表面和材料的平整度、粗糙度和波纹、薄膜、台阶高度等,是一款名副其实的轮廓仪。 作为最新一代的旗舰产品,Nexview™ NX2 ...
Zygo
... 生产就绪的三维光学轮廓仪系统 ZeGage Pro HR 三维光学轮廓仪 ZeGage™ Pro和ZeGage™ Pro HR三维光学轮廓仪为许多类型的表面的微观和纳米尺度的特征提供非接触式的测量和表征,确保在您的制造环境中进行质量控制和过程监控。 我们行业领先的ZeGage Pro系列为台式工业非接触式表面测量仪的性能、易用性、灵活性和精度设定了标准。基于ZYGO专有的CSI技术,ZeGage Pro提供创新技术,以实现精确、可靠、简单和自信的表面计量。 独家功能包括SureScan™技术,用于振动稳健的计量,Part ...
Zygo
... NewView™ 9000 三维光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓测量方面提供了强大的多功能性。该系统可以方便快捷地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和台阶式表面。所有的测量都是无损、快速的,并且不需要准备样品。 该系统的核心是 ZYGO 的相干扫描干涉测量技术(CSI),它在所有放大倍率下都能提供亚纳米级的精度,并且能够比其他商用技术更快、更精确地测量更多的表面类型,可优化您的投资回报率。 高性能、高性价比和多功能性 灵活性是 ZYGO 的 NewView 产品的特点。NewView ...
Zygo
... SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身,能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时,可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析;当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时,使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperView ...
... 简洁 . 灵动 . 强劲. Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度,几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将3种测量方式融于一体,确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统,用户将获得难以置信的直观操作体验。 应用领域 - 汽车业 - 消费电子产品 - 能源行业 - 液晶显示屏 - 材料学 - 微电子学 - ...
Sensofar Metrology
... 新型 S neox 在性能、功能、效 率和设计方面优于现有的 3D光 学轮廓仪,是Sensofar 的新一 代高端测量系统。 前所未有的速度 通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机,达到前所未有的速度。数据采集速度达 180 fps。标准测量采集速度比以前快 5 倍。S neox 成为市场上速度最快的表面测量系统。 易于使用 Sensofar 致力于为客户提供最令人难以置信的体验。随着第五代 S neox 系统的诞生,我们的目标是使其易于使用、直观且更快速。即使是初学者,只需点击一下,即可操作测量。模块化设计的软件,使系统适应用户多样的需求。 ...
Sensofar Metrology
... 完全无障碍 S neox五轴三维光学轮廓仪将高精度旋转模块与S neox三维光学轮廓仪的先进检测和分析功能相结合。这就实现了在规定位置的自动三维表面测量,可以结合起来创建一个完整的三维体积测量。 ...
Sensofar Metrology
... Tropel® FlatMaster® MSP(多表面轮廓仪)是一种步进式干涉仪,为直径达300毫米的半导体晶圆提供快速和精确的计量。 在几秒钟内收集多达300万个数据点,具有亚微米级的精度,能够对整个表面进行总体厚度和平整度表征。 FlatMaster MSP为各种应用提供强大的测量,从复杂的部件和组件到透明材料和晶圆测量。 FlatMaster MSP-DH被配置为同时测量部件或组件的两面,提供绝对厚度和平行度测量。 测量300毫米玻璃和硅片的平面度、厚度和厚度变化的能力对于3DIC组件的成功整合至关重要。传统的接触探头或传统的干涉测量系统太慢,或者不具备更大视野的必要精度。 ...