光学轮廓测量仪 UA3P series

3D干涉测量原子力

Panasonic UA3P 轮廓仪系列专为测量非球面透镜和模具、半导体晶片以及任何其他需要纳米级精度的精密部件而设计，测量范围可达 200mm x 200mm。不同型号的机器可满足您对光学和高纵横比测量的需求。 UA3P-300、UA3P-4 和 UA3P-5 都能为用户提供原子力显微镜技术的精度和坐标测量机的测量范围。我们的独特方法是在测针中使用原子力探针技术和基于氦氖激光的 XYZ 轴干涉定位技术。 将这项技术与坚固的花岗岩基座相结合，您就拥有了一个可以在工厂车间使用的坚固的计量系统，并且还能提供 0.1um 级的总不确定度。 - UA3P 可以测量非球面透镜和自由曲面镜及其模具，这对于数字消费电子产品（如手机、DSC、DVD 和蓝光刻录机）以及家庭安防、光通信和汽车工业都至关重要。 - 超精确测量仅需 3 分钟 - 自动生成 NC 程序 - 丰富的可选软件库 - 操作简便，支持快速加工反馈 外部尺寸（宽 x 深 x 高）毫米 - 700 x 780 x 1,500 主体质量 - 700 千克（其他：150 千克） 测量范围（X、Y、Z 轴） mm - 30x30x20 被测物体放置区域（X、Y、Z 轴） mm - 100x100x100 测量探头 - AFP 分辨率 - 0.3nm 最大倾斜角度顶面测量倾角 - 75º