表面糙度测定轮廓测量仪 Micro.View

光学3D干涉测量

概述
基于 Micro.View 平台的紧凑型光学 3D 表面轮廓仪，用于非接触的粗糙度与表面形貌测量。作为从触针系统入门到光学面测技术的替代方案设计，适用于从哑光到高反射的零件，提供面域和轮廓粗糙度评估。

亮点

• 符合 ISO 的粗糙度评估：轮廓 R 参数与面域 S 参数
• 适用于实验室和质量控制的紧凑台式设计
• 可选自动电动 XY 工作台（Advanced 版本行程 75 mm）
• 提供升级与以旧换新选项

主要优势

• 提供完整的 3D 面域测量（Sa、Sq、Sz 等），同时支持经典 2D 轮廓参数（Ra、Rz…）
• 非接触光学测量避免表面损伤并捕获完整形貌
• 内置扫描技术（自相关/相关图评估与 SST/CST），适用于反光、暗色、低对比或透明材料的稳健扫描
• 亚纳米级垂直分辨率与低测量噪声

应用 / 典型使用场景

• 从触针量测设备升级或替换为光学轮廓仪，以实现更全面的表面纹理分析
• 需要符合面域标准（ISO 25178）质量控制实验室
• 对敏感或软性表面进行无损测量
• 通过面域数据更可靠更早地发现功能性表面问题
• 为生产与研发提供更快速的面积测量

产品配置与特性

• 以 Micro.View 平台为基础，提供预设的 Roughness Tester 配置，以优化入门价格与性能
• 传感器头具备亚纳米垂直分辨率能力和五位物镜转塔
• 紧凑底座并集成振动隔离
• 标配 10× 物镜；可选配其他物镜
• 软件支持按行业标准进行粗糙度评估（ISO 25178、ISO 4287、ISO 4288、ISO 21920、ASME B46.1）

选项 — Basic 与 Advanced

• Basic 版本：面向预算的分析仪，适用于标准零件和简单的粗糙度检测。集成手动 tip/tilt 台用于样品对准。
• Advanced 版本：推荐用于中型样品与自动化需求。包含电动 75 mm XY 位置台（x 与 y）与手动 tip/tilt。支持可重复对准与 True Stitching 以扩展测量区域。

规格
表面形貌性能 — 垂直行程（定位与测量）：100 mm
测量噪声：< 0.6 nm
重复性：< 0.2 nm
测量 — 样品反射率：0.05 至 100 %
测量区域（10× 物镜）：0.79 mm × 0.58 mm
True Stitching 最大测量区域（10×）：171 mm²
测量点间距（10×）：0.59 µm
数据点数：1,352,000（有效像素）
样品定位 — 样品台尺寸：140 mm × 140 mm
XY 台：Basic：无；Advanced：75 mm 电动行程（x 与 y）
倾斜台（tip/tilt）：手动
软件 — 按标准的评估参数：ISO 25178、ISO 4287、ISO 13565、ISO 21920、ASME B46.1
自动化功能：测量与评估配方；True Stitching（需电动 XY 台）

下载与补充资料
产品页面提供数据表与白皮书参考（站内列示文件标题）。