5轴定位系统 782497:006.26

六足式旋转半导体工业

MP200-5 微型 XYZ Phi Delta 定位系统 可定制： - 高达 0.007 µm 的超高分辨率 - 最高定位精度，Rx 和 Ry 为 ± 1.5° - 负载能力高达 20 N - 坚固耐用的自保持滑动螺纹驱动装置可实现最高达 0.07 µm 的精细运动 - 坚固的轴承连接具有极强的抗干扰能力 - 所有自由度的重复精度绝对恒定，可达 ± 0.5 µm - 由于集成了 5 轴控制电子元件，因此结构非常紧凑 - 通过简单的电源和标准数据接口与上级系统连接 电动对中和校平平台的五个自由度移动非常稳定。该系统可在所有三个方向上移动。它还可以在平面上倾斜两个角度。 规格 - 标准组件：MT63-SM - 行程：4 毫米（XYZ）/ 3 毫米（RxRy） - 重复性：± 0.07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (RxRy) - 定位速度：0.5 毫米/秒（XYZ）/0.4 毫米/秒（RxRy） - 最大负载20 N - 电机步进电机（SM），滑动螺纹带 - 反馈电机-编码器 - 透射光：45 毫米