3轴定位系统 782327:032.24

自动建筑机械用用于晶圆操作

MP130-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 高刚性带来微米级精度 - 动态速度高达 30 mm/s - 负载高达 45 N - 交叉滚柱轴承导轨使摩擦阻力最小 使用我们的 FMC 系列控制器，可以轻松控制带有螺杆驱动和直流或步进电机的紧凑型三轴对准系统。使用相应的调试软件 FMC Quick，系统可在几分钟内完成初始测试。 规格 - 标准组件：MP130-DC - 行程：50 毫米 - 重复精度： ± 2.5 - ± 4.5 µm (XYZ) - 定位速度： 30 - 60 mm/s (XY) / 1 - 2 mm/s (Z) - 最大负载45 N - 电机直流电机，交叉滚子轴承 - 反馈：电机-编码器 - 标准组件：MP130-SM - 行程： 50 毫米 - 重复精度： ±± 2.3 - ± 4.3 µm (XYZ) - 定位速度： 20 - 40 毫米/秒（XYZ） - 最大负载45 N - 电机步进电机，交叉滚子轴承