多轴定位系统 782497:008.26

六足式旋转用于检测晶片和计量

MP200-3 微型 Z-Phi 三角定位系统，三脚架 作为 MP200-5 型对中仪的补充，该对中仪具有三个自由度。它的内部由三个垂直作用的精密轴组成，这些轴通过实体连接件与可移动的载荷板相连。因此，载荷板可以在两个轴上倾斜，也可以调节高度。 由于通常只需对齐工件即可，因此垂直调整可用于补偿不同高度的镜片封装，尤其是在光学装配中。此外，还可以通过该机械手和交叉透光工作台或交叉工作台实现 XY 移动范围较大的五轴机械手。例如，KDT310、KT310 或 KDT235 可用作 XY 系统。 规格 - 标准组件：MT63-SM（Z、Rx、Ry） - 行程：4 毫米（Z）/ 3 毫米（Rx、Ry） - 重复性：± 0.07 - ± 1 µm (Z) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (Rx, Ry) - 定位速度：0.5 mm/s (Z) / 0.4 mm/s s (Rx, Ry) - 最大负载20 N - 电机步进电机（SM），滑动螺纹带 - 反馈电机-编码器 - 透射光：45 毫米