6轴定位系统 786015:009.26

多轴六足式卧式

6 轴微型 XYZ-Theta-Phi-Delta 定位系统（ISO 5 级无尘室） 可定制： - 自动检测晶圆和光学器件的理想选择，检测范围可达 300 毫米/12 英寸 - 重复精度高达 ± 2.5 µm 或 ± 0.005° - 出色的精度、刚性和紧凑性，尺寸为 520 x 600 x 155 毫米 - 设计用于三班制操作，洁净室等级可达 ISO 5 6 轴机械手包括一个水平轴 XY 平台和一个用于垂直行程和两次倾斜的三脚架，在一个系统中结合了笛卡尔运动设计和平行运动设计的优点。 规格 - 标准系统：MT95（XY）/ 3x MT95（Z、Rx、Ry） - 行程：30 毫米（XY）/ 20 毫米（Z）/ 4 毫米（Rx、Ry）/ n x 360（Rz） - 重复性：± 1.5 - ± 3.5 µm (XYZ) / 0.0004 - 0.001 µm (Rx, Ry) / 0.05 - 0.1 µm (Rz) - 定位速度： 1.1 - 2 mm/s (XYZ) / 0.03 -0.5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz) - 最大负载65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - 电机直流电机，Kugelgewindetrieb 1112，Getriebe，Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - 反馈：电机编码器 - 长 x 宽 x 高：520 x 600 x 155 毫米 定制选项： - 针对特定应用进行了测试，可立即使用即插即用运动控制器（含样品软件 - 用于最大 450 毫米/18 英寸样品的特殊版本 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的不同型号（根据要求可达 1 级） - 模块化多轴系统，可定制/更换加工头 - 各种样品夹具，可集成到工作流程中 - 利用 3D 设计为定位任务开发个性化解决方案