XYZ轴定位系统 782325:110.24

自动工业用于实验室应用

MP53-3 微型 XYZ 定位系统 可定制： - 紧凑型应用的理想选择 - 分辨率在亚微米范围内 - 负载能力高达 5 N - 高精度定位，质量可靠稳定 MP53 定位系统是用于 X、Y 和 Z 轴运动的小型化三轴系统，行程范围为 10 毫米。对准器采用压电电机设计，定位增量可达几个纳米。 规格 - 标准系统：MT53 - 行程：10 毫米（XYZ） - 重复性： ± 0.2 - ± 0.3 µm (XYZ) - 定位速度： 5 毫米/秒（XYZ） - 最大载荷45 n (XY) / 150 n (Z) - 电机压电电机，交叉滚子轴承 - 反馈： 线性刻度线性刻度 定制选项： - 可选配高分辨率测量系统，重复精度可达 0.005 µm - 可与旋转平台组合，用于旋转应用 - 适用于最高 10-11 毫巴真空或 ISO 14644-1 6 级无尘室的型号（根据要求可达到 1 级） - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 预配置运动控制器，包括样本软件，即开即用