半导体计量系统 Aspect®

新的Aspect计量系统是一个革命性的光学平台，是为先进的3D NAND设备的当前和未来挑战而设计。 产品概述 存储器密度随着层对扩展和层堆叠的增加而增加，存储器堆叠远远超过200对。Aspect计量系统的设计考虑到了这些未来的架构和扩展策略。Aspect计量系统通过一个革命性的红外光学系统展示了优于X射线系统的性能，该系统提供全面的剖析能力，以实现关键的蚀刻和沉积控制，并具有客户要求的速度和工艺覆盖范围。 Aspect系统由一个强大的软件分析引擎AI-Diffract™技术提供支持，该技术通过利用广泛的机器学习能力和高保真建模，扩展了行业领先的NanoDiffract®软件。其结果是同时提高了计量性能，并大大缩短了解决问题的时间。 应用 - 第七代3D NAND及以后的蚀刻、清洗和沉积 - CIS的蚀刻和植入 - DRAM的蚀刻和植入 - 用于先进逻辑的器件材料表征