晶圆计量系统 NanoSpec® II

Nanopsec II薄膜分析系统有桌面式和独立式两种配置，它在工程和研究活动与配方和分析算法的最终生产使用之间建立了一个循环。 产品概述 扩展了业界公认的NanoSpec系列的范围和性能，NanoSpec II引入了新的设计，具有自动样品对准、快速自动聚焦和测量重复性优于1Å*的特点。该系统可以与Onto Innovation的光谱反射率分析软件、用于自动模式对准的图像处理和各种光学配置选项相结合，使NanoSpec II自动化成为同类产品中最强大的薄膜系统。NanoSpec II与前几代Nanospec产品的材料卡完全兼容。此外，许多由Woollam®椭圆仪创建的色散模型可以导入并使用，无需转换。 Nanopsec II有桌面式和独立式两种配置，它关闭了工程和研究活动与最终生产使用配方和分析算法之间的循环。简单的配方可移植性允许在生产线外开发配方而不干扰标准生产流程。离线数据分析的各种选项使工程师能够在任何时候重新处理过程中的偏移，即使原始样品不再可用。光学系统的设计是为了提供可靠和坚固的计量，同时将维护工作保持在最低水平。