晶圆计量系统 The Atlas XP+

Atlas薄膜和OCD系列是领先的FinFET、Gate-all-around（GAA）FET、3D NAND和先进DRAM器件制造的计量工具。 Atlas XP+系统为200毫米晶圆计量提供了一个单一的薄膜和OCD测量的平台。该系统集成了一个双臂机器人、高精度平台和高速聚焦系统。该系统还具有先进的模式识别、改进的厚度再现性和卓越的SR和SE吞吐量。N2000™软件界面和高级自动化符合SEMI和其他组织采用的标准。NanoNet®功能是N2000分析平台软件的一个网络组件，提供系统与系统之间的匹配和无缝的配方转移。