光学检查机 Candela® 8420

表面自动化表面缺陷

Candela® 8420 表面瑕疵检测系统采用多通道检测和基于规则的瑕疵分类，可对不透明、半透明和透明晶圆（例如砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石和其他化合物半导体材料）进行微粒和划痕检测。 这款表面瑕疵检测系统采用专有的OSA（光学表面分析仪）架构，可同时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位变化，可对各种重要缺陷 (DOI) 进行自动检测和分类。 使用 Candela 8420 表面瑕疵检测系统，可在几分钟内实现全晶圆检测，可生成高分辨率成像和自动化检测报告，提供瑕疵分类和晶圆图。 与单通道技术相比，该机台的灵敏度更高。 Candela CS20R 配置采用了针对化合物半导体材料（包括光敏底片）的优化光学技术。 基片质量控制、基片供应商比较、入料晶圆质量控制 (IQC)、出厂晶圆质量控制 (IQC)、化学机械抛光工艺/抛光工艺控制、晶圆清洁工艺控制、外延工艺控制、基片与外延的相关性、外延反应器供应商比较、工艺机台监控。 可检测直径达 200mm 的不透明、半透明和透明化合物半导体材料上的表面瑕疵 手动模式支持部分晶圆的扫描 支持很多种不同的晶圆厚度 适用于微粒、划痕、凹坑、凸起和沾污等宏观缺陷 光子学（包括 VCSEL） LED 通信（5G、光学雷达、传感器） 其他化合物半导体器件 SECS-GEM 信号灯塔 金刚石划线 校准标准 支持离线数据处理 光学字符识别 (OCR) 用于光敏底片检测的 Candela CS20R 配置