CIQTEK FIB-SEM DB550 规格
*电子光学
电子枪类型:高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率: 0.9 nm@15 kV;1.6 nm@1 kV
加速电压:0.02 kV 至 30 kV
*离子束系统
离子源类型:镓
分辨率3 nm@30 kV
加速电压:0.5 千伏至 30 千伏
*样品室
真空系统:全自动控制,无油真空系统
摄像头三个摄像头(光学导航 x1 + 样品室监控器 x2)
平台类型:电动 5 轴机械偏心试样平台
平台范围X=110 毫米,Y=110 毫米,Z=65 毫米
T:-10°~+70°,R:360°
*SEM 探测器和扩展装置
标准: - 镜头内电子探测器
埃弗哈特-桑利探测器(ETD)
可选: - 可伸缩式背散射电子探测器(BSED)
可伸缩扫描透射电子显微镜探测器(STEM)
能量色散光谱仪(EDS/EDX)
电子背散射衍射图样 (EBSD)
纳米机械手
气体注入系统
等离子清洗器
试样交换负载锁
轨迹球和旋钮控制面板
CIQTEK DB550 聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 配有聚焦离子束柱,用于纳米分析和试样制备。它采用 "超级隧道 "电子光学技术、低像差和非磁性物镜设计。
# 超级隧道 "电子光学技术
# 镓离子束
# 卓越的扩展性
# 集成气体注入系统
# 集成纳米操纵器
# 标本交换负载锁(兼容 8 英寸)
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