扫描电子场发射显微镜 SEM5000X

实验室质量控制用于材料分析

CIQTEK SEM5000X FESEM 显微镜规格 电子光学 分辨率： 0.6 nm @ 15 kV, SE 1.0 nm @ 1 kV, SE 加速电压：0.02 千伏 ~30 千伏 放大倍数1 ~ 2,500,000 x 电子枪类型：肖特基场发射电子枪 试样室 摄像头双摄像头（光学导航 + 样品室监控器） 平台类型5 轴机械偏心试样平台 平台范围X=110 毫米，Y=110 毫米，Z=65 毫米 T: -10*~+70°, R: 360° SEM 探测器和扩展装置 标准：镜头内探测器 埃弗哈特-桑利探测器（ETD） 可选： - 可伸缩式背散射电子探测器 (BSED) 可伸缩扫描透射电子显微镜探测器（STEM） 低真空探测器（LVD） 能量色散光谱仪（EDS / EDX） 电子背散射衍射图样 (EBSD) 试样交换负载锁（4 英寸/8 英寸） 轨迹球和旋钮控制面板 双分辨模式（Duo-Dec） CIQTEK SEM5000X 是一款超高分辨率 FESEM，采用优化的电子光学柱设计，整体像差降低了 30%，实现了 0.6 nm@15 kV 和 1.0 nm@1 kV 的超高分辨率。它的高分辨率和稳定性使其在先进的纳米结构材料研究以及高技术节点半导体集成电路芯片的开发和制造方面具有优势。 # 突破性的分辨率 # 机械偏心试样台 # 双光束减速模式（Duo-Dec） # 试样交换负载锁（兼容 8 英寸） # 高稳定性 # 卓越的扩展性