电子扫描显微镜 SEM5000X

实验室质量控制用于材料分析

SEM5000X 是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），具有突破性的 0.6 nm@15 kV 和 1.0 nm@1 kV 分辨率。 突破性的 0.6 nm@15 kV 和 1.0 nm@1 kV 分辨率。得益于升级的柱工程工艺、"超级隧道 "技术和高分辨率物镜设计，SEM5000X 能够进一步提高低电压成像分辨率。试样室端口扩展到 16 个，试样交换负载锁支持最大 8 英寸晶圆尺寸（最大直径 208 毫米），极大地扩展了应用范围。先进的扫描模式和增强的自动化功能带来了更强大的性能和更优化的体验。