镀金属溅镀机 FLC

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概览
LEYBOLD OPTICS FLC series 为一系列卷对卷（roll-to-roll）高真空溅射沉积系统，面向研发与生产应用。该系列采用模块化设计，最多可配置六个旋转阴极，支持在单次通过中沉积金属与电介质多层膜系，提供650 mm、1600 mm、2000 mm等镀膜宽度选项。

主要优点

• 通过可选的相邻处理单元气体分离，实现一次通过沉积多层膜（混合金属/介电层），无需中间处理步骤。
• 配置灵活：最多6个旋转阴极、多个电源类型、原位测量系统、等离子体预处理以及可配置的卷绕系统，以适配多种基材与工艺。
• 快速切换应用：通过更换靶材与工艺配方，在不作重大硬件改动的情况下实现工艺切换，适用于研发与试产。

突出特点

• 多用途性：支持直流（DC）、直流单极脉冲、直流双极脉冲及中频（MF）电源，适用于反应性与非反应性溅射。
• 颗粒控制与工艺稳定性：采用sputter-up阴极方向设计、涡轮分子泵与冷阱、温控镀膜转鼓（标准 -15 至 +80 ℃），提升工艺稳定性。
• 维护便捷：结构设计便于关键部件清洁与维护，缩短维护周期。

适用基材与沉积材料

• 基材：PET、PEN、PI、铝、 不锈钢、铜、柔性玻璃等；基材卷直径可达500 mm。
• 沉积材料：金属（Ag、Al、Cu、Cr、NiCr、Ti）以及介电/氧化物（AZO、ITO、SiO2、SiN、SnO2、Nb2O5、TiO2）等。

应用示例

• 用于显示与触控面板的透明导电ITO膜。
• 柔性印刷电路板（FPCB）和卷对卷电容器薄膜的金属化。
• 低辐射（low-e）与智能玻璃、建筑与汽车用电致变色薄膜。
• 用于提升锂离子电池性能的功能性涂层及其他先进电子材料的薄膜制备。

其他特性 / 技术规格

• 产品系列：LEYBOLD OPTICS FLC series
• 设备尺寸 / 镀膜宽度：650 mm、1600 mm、2000 mm
• 典型镀膜宽度（例如 FLC 650）：可达 650 mm
• 基材卷最大直径：可达 500 mm
• 镀膜转鼓温控范围：标准 -15 °C 至 +80 °C
• 阴极：最多 6 个旋转阴极，sputter-up 布局
• 支持电源类型：DC、DC 单极脉冲、DC 双极脉冲、MF
• 真空系统：涡轮分子泵与冷阱
• 工艺选项：区段间气体分离、等离子体预处理、原位层厚测量、闭环过程控制、可配置卷绕系统